特許

J-GLOBAL ID：200903062066730256

ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 谷口 哲夫 ,  依田 安史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011179
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203140
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 高スループットかつ高精度な露光が可能な露光装置を実現する。【解決手段】 テーブルTB1、TB2は、搬送系80A、80Bにより搬送可能である。テーブルTB1、TB2は、ステージ本体ST1、ST2に着脱自在に、かつ非接触で支持でき、支持状態で、テーブルをステージ本体に対して駆動できる。従って、ステージ本体ST1上に支持されたテーブル上のウエハを投影光学系PLを介して露光する間に、他方のテーブル上のウエハをアライメント系ALGによりアライメントし、露光が終了した時点で、露光済みのウエハを保持するテーブルを搬送系によりステージ本体ST1上から搬出し、アライメント終了後のウエハを保持するテーブルをステージ本体ST1上に搬入して、そのウエハの露光を直ちに開始する。ステージ本体ST1、ST2は、別々のベース上に設置され、相互に振動要因となることがない。

請求項（抜粋）：

物体を駆動するステージ装置であって、移動可能な第1ステージ本体と;前記物体を保持し、前記第1ステージ本体に着脱自在に支持される第1テーブルと;前記第1ステージ本体に設けられた第1固定子と、前記第1テーブルに設けられ前記第1固定子と協働可能な第1移動子とを有し、前記第1ステージ本体に対し前記第1テーブルを駆動する駆動装置とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/23 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 7/23 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (38件)：

5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA07 ,  5F031GA35 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA18 ,  5F031KA20 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA04 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20