特許
J-GLOBAL ID：200903062071573592
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354757
公開番号（公開出願番号）：特開平11-181089
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】幅広い範囲のアルカリ水溶液で現像でき、かつ感度が高く、未露光部の膜減りも少ないポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得ることができるポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得る。【解決手段】 一般式(1)で表されるポリマーを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2から30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3はナフトキノンジアジドスルホニル基を少なくとも全体の10から50モル%含み、残りは水素原子、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)
請求項（抜粋）：
一般式(1)で表されるポリマーを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2から30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3はナフトキノンジアジドスルホニル基を少なくとも全体の10から50モル%含み、残りは水素原子、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)
IPC (5件)：
C08G 73/10
, C08G 73/22
, C08L 79/08
, G03F 7/023 501
, G03F 7/039
C08G 73/10
, C08G 73/22
, C08L 79/08 A
, G03F 7/023 501
, G03F 7/039
