特許

J-GLOBAL ID：200903062072210108

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 青木 信明
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-311205
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118245
出願日： 2000年10月11日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像素子において、受光部の感度を低下させることなく、位置合わせずれや小F値等における光路ずれの影響を少なくして、効率良く入射光を受光部に導く。【解決手段】 複数の受光部2を設けた半導体基板1上に、内部に配線を含む絶縁層3を有する固体撮像素子において、絶縁層3の受光部2上部分に光導波路形成用穴5を形成し、その中に透光性材料12を埋め込んで光導波路5aを形成する。光導波路5a上方には、レンズの焦点が光導波路5a内部であって、かつ、受光部2の表面近傍に設定されたマイクロレンズ9を設ける。

請求項（抜粋）：

半導体基板上または半導体基板の表層部に設けた複数の受光部と、内部に配線を含むと共に該受光部上に光導波路を設けた絶縁層とを有する固体撮像素子において、該光導波路上方にマイクロレンズを備え、該レンズの焦点を該光導波路内部であって、かつ、該受光部表面近傍に設定した固体撮像素子。

IPC (6件)：

H01L 27/14 ,  G02B 1/10 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H01L 31/02 ,  H04N 5/335

FI (7件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 31/02 B

Fターム (31件)：

2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB13 ,  2H048BB46 ,  2K009BB01 ,  2K009CC14 ,  2K009CC42 ,  2K009DD04 ,  2K009DD12 ,  2K009EE00 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA40 ,  4M118CB11 ,  4M118GA09 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX21 ,  5C024EX43 ,  5C024GY01 ,  5F088AA01 ,  5F088BA10 ,  5F088BB03 ,  5F088JA12 ,  5F088JA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-168048
  
• オンチップマイクロレンズを備えた固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205632   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-300097   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-011782   出願人：シャープ株式会社