特許
J-GLOBAL ID：200903062075856041
多軸検出形加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301537
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172842
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】信頼性がある小形安価な他軸検出一体形加速度センサの構造を提供する。【構成】加速度検出部は、半導体微細加工応用技術により小形にして、ICと共にHIC基板上に固定したHIC基板部組を形成する。HIC基板部組は、1個は、ステム上に固定する。2個目,3個目は、それぞれ基板支持部材を介して積み重ねる。配線はハーメチックステムに固定されたリードにそれぞれ結線する。キャンの固定時に-40°Cの不活性ガスを封入する。これらの加速度センサ収納部を互いに直角な面を有するハウジングに固定する。空洞部を有するハウジングの内部でフレキシブル配線板により、加速度センサ収納部間の配線を行ない、ハウジング内部で、一旦固定されてから、リード線は外部に引き出される。
請求項（抜粋）：
加速度の検出部とその加速度の検出部を駆動する専用電子集積回路部とを同一基板に固定した基板部組を複数個,同一キャン内に収納した加速度検出収納部を互いに、加速度の検出方向が直角になる如く、取付け面を有するハウジングに複数個一体に固定したことを特徴とする多軸検出形加速度センサ。
IPC (2件)：
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