特許
J-GLOBAL ID：200903062084246841
干渉計による球面測定解析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122466
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332952
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 球形測定面から反射した物体光と基準面で反射した参照光との干渉による干渉縞を測定解析するについて、測定面と基準面との曲率中心の位置ずれをより高精度に補正して良好な球面測定を行う。【構成】 基準面5aの曲率中心に集光する基準レンズ5を有し、該基準面5aの曲率中心に測定面6aの曲率中心が一致するように被検体6を配設し、基準面5aで反射した参照光と測定面6aで反射した物体光とを干渉させた干渉縞から測定面6aと基準面5aとの波面収差を求め、該収差を二次近似関数で最小自乗近似演算を行い、各次数項の係数を求め、その2次項の係数から測定光の集光点と物体光の集光点との距離Kを計算するとともに、該距離Kによって4次項またはそれ以上の高次項の係数を計算し、前記波面収差を上記高次項を含む補正関数で減算補正し、測定面6aの曲率中心との位置ずれによる波面収差を補正する。
請求項（抜粋）：
球形基準面を有し該基準面の曲率中心に集光する基準レンズを備え、該基準面の曲率中心に測定面の曲率中心が一致するように被検体を配設し、前記基準レンズの基準面で反射した参照光と、該基準面を透過してその曲率中心に集光する測定光が上記測定面で反射した物体光とを干渉させた干渉縞から測定面の形状を測定する干渉計による球面測定で、基準面曲率中心と測定面曲率中心との位置ずれを補正する球面測定解析方法において、前記干渉縞から測定面と基準面との波面収差Wijを求め、該波面収差Wijを二次近似関数Aij=a0 +a1 xij+a2 yij+a3 ( xij2 +yij2 )で最小自乗近似演算を行い、各次数項の係数a0 〜a3 を求め、その2次項の係数a3 から基準レンズによる測定光の集光点と測定面で反射した物体光の集光点との距離Kを計算するとともに、該距離Kによって4次項またはそれ以上の高次項の係数an を計算し、前記波面収差Wijから上記高次項を含む補正関数Eij=a0 +a1 xij+a2 yij+a3 ( xij2 +yij2 )+an ( xij2 +yij2 )n-2を減算し、前記測定面曲率中心の位置ずれによる誤差を補正することを特徴とする干渉計による球面測定解析方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01M 11/02
