特許
J-GLOBAL ID:200903062089921253
検出器の検出部構造
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高野 明近 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-204744
公開番号(公開出願番号):特開平6-174672
出願日: 1991年07月19日
公開日(公表日): 1994年06月24日
要約:
【要約】【目的】 ガス感応物質の後加工を必要とせず、ガス感応物質の膜質表面状態が変質しない構造の検出器を提供する。【構成】 基板11と、該基板11上に空中に張り出して設けられ電気的絶縁性材料12からなる張り出し部と、該張り出し部上に設けられており、かつ検出領域において互いに所定距離離隔して設けられた少なくとも一対の検出用リード13と、前記検出領域において前記少なくとも一対の検知用リード13の夫々に接触して設けられた感応物質層17とを有しており、前記感応物質17の抵抗値の変化を検出して被検出対象を検知する。前記検出用リード13上の開口部B上に絶縁層16をオーバハングして有し、該オーバーハングの影の部分に前記感応物質が付着しない層を形成し、前記検出用リード13上の開口部分Bにのみ前記感応物質17が付着している。
請求項(抜粋):
基板と、該基板上に空中に張り出して設けられ電気的絶縁性材料からなる張り出し部と、該張り出し部上に設けられており、かつ検出領域において互いに所定距離離隔して設けられた少なくとも一対の検出用リードと、前記張り出し部上に前記検出用リードと並置して設けられた少なくとも1個のヒータ用リードと、前記検出領域を除いて前記検出用リードとヒータ用リードとを夫々独立的に被覆して互いに電気的に分離する電気的絶縁材料からなる被覆層と、前記検出領域において前記少なくとも一対の検知用リードの夫々に接触して設けられた感応物質層とを有しており、前記感応物質の抵抗値の変化を検出して被検出対象を検知する検出器において、前記検出用リード上の開口部上に前記絶縁層をオーバハングして有し、該オーバーハングの影の部分に前記感応物質が付着しない層を形成し、前記検出用リード上の開口部分にのみ前記感応物質が付着していることを特徴とする検出器の検出部構造。
前のページに戻る