レジスト塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-127581
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314653
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】レジスト塗布装置において、レジスト塗布のムラを無くし、塗布されたレジストの均一性を向上する。【解決手段】底部2と、底部2から立設する側壁3と、側壁3により形成される開口部4とからなる回転カップ5と、開口部4を塞ぐカップフード10とを具備し、回転カップ5を回転して、底部2に設置された塗布基板たるブランク6にレジストを塗布するレジスト塗布装置1において、側壁3は、底部2と接する側壁3の下側部分をなすと共に排気口7を有して回転カップ5内の排気を可能としている側壁本体8と、側壁本体8の上端から延出して側壁3の上側部分をなして開口部4を形成すると共に通気性を有して回転カップ5内への通気を可能とする通気性側壁部9とからなり、カップフード10は側壁3内で設置高さが調整可能であるように構成し、カップフード10の設置高さの調整と排気口7での排気とにより、回転カップ5内への通気を制御可能とする。

請求項（抜粋）：

底部と、該底部から立設する側壁と、該側壁により形成される開口部とからなり、偏平なカップ形状を持つ回転カップと、該回転カップの開口部を塞ぐカップフードとを具備し、該回転カップを回転して、該底部に設置された塗布基板にレジストを塗布するレジスト塗布装置において、該回転カップの側壁は、該底部と接する該側壁の下側部分をなすと共に排気口を有して該回転カップ内の排気を可能としている側壁本体と、該側壁本体の上端から延出して該側壁の上側部分をなすと共に該開口部を形成し、更に通気性を有して該回転カップ内への通気を可能とする通気性側壁部からなり、該カップフードは、該側壁内で設置高さが調整可能であり、該カップフードの設置高さの調整と該排気口での排気とにより、該回転カップ内への通気を制御可能とすることを特徴とするレジスト塗布装置。

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