特許
J-GLOBAL ID：200903062092579434
反射鏡の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-079666
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289194
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 研磨加工で表面形状が変形して電磁波ビームを制御する光学素子特性が悪化する問題と、研磨加工を省くことによって表面に加工痕が残って反射率特性が劣化する問題点とを回避した特性の良好な反射鏡を提供する。【構成】 切削あるいは研削、あるいはその複合加工によって反射膜を作製し、研磨加工しない母材をそのまま使用し、そのままでは残留する加工痕による表面凹凸を小さくして反射率の減少を抑えるため、母材1に付着して膜を形成する粒子5と同時に、10から 500eVのエネルギーを有し、かつその数が1013個/sec/cm2 以上の粒子からなるビーム4を母材1上の膜表面に照射しつつ、電磁波を反射する反射膜2を形成する。
請求項（抜粋）：
平面もしくは有限の曲率を有する母材と、該母材上で電磁波を反射する反射膜から構成される反射鏡を製造する方法において、前記母材を切削あるいは研削、あるいは両者の複合工程で形状加工し、前記反射鏡をエネルギーを有する粒子を照射しつつ形成することを特徴とする反射鏡の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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