特許

J-GLOBAL ID：200903062095058940

基板支持具および基板の支持方法

発明者： 畠中 邦宏 ,  後藤 哲哉 ,  小川 正幸
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-310551
公開番号（公開出願番号）：特開平10-152776
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】マスクの保持・搬送・およびガラス基板上への転写、位置決めを簡単かつ確実に行うことができ、また、マスクの取り外しにおいて、取扱い性が良く、マスクの折れぐせを防止することができ、さらに、ガラス基板のカラーパターンを傷付けることがなく、また、マスクエッジ部分のITOの切れも良く、にじみや影もでにくい基板支持具および基板の支持方法を提供する。【解決手段】開口部が形成されたプレートと、カラーパターン形成された基板と、該カラーパターンが形成された領域に対向するように開口部が形成された磁性材料からなるマスクとを備え、上記プレートとマスクとの間に基板を固定する基板支持具であって、前記プレートに永久磁石と、磁力および磁極が変更可能な電磁石を備えさせてなることを特徴とする基板支持具。

請求項（抜粋）：

開口部が形成されたプレートと、カラーパターン形成された基板と、該カラーパターンが形成された領域に対向するように開口部が形成された磁性材料からなるマスクとを備え、上記プレートとマスクとの間に基板を固定する基板支持具であって、前記プレートに永久磁石と、磁力および磁極が変更可能な電磁石を備えさせてなることを特徴とする基板支持具。