特許

J-GLOBAL ID：200903062105659203

耐摩耗性皮膜

発明者： 井寄 裕介
出願人/特許権者： 日立ツール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-219455
公開番号（公開出願番号）：特開2000-054113
出願日： 1998年08月03日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、比較的低温条件で成膜することができると共にそれにもかかわらず、密着性や膜強度に優れ、しかもクレータ摩耗やフランク摩耗に対する抵抗力の優れた耐摩耗性皮膜を提供することを目的とする。【構成】 V(NaC1-a)(但し、0≦a≦0.6)で示される組成からなり層厚が0.1〜6μmの皮膜層が基材表面に形成されるとともに、(AlbVcTi1-(b+c))(NzC1-z)(但し、0.05≦b≦0.75、0≦c≦0.75、0.6≦z≦1)で示される組成からなり層厚が0.5〜8μmの被膜層が上層に形成され、少なくとも2層から構成する。

請求項（抜粋）：

V(CaN1-a)(但し、0≦a≦0.6)で示される組成からなり層厚が0.1〜6μmの皮膜層が基材表面に形成されるとともに、(AlbVcTi1-(b+c))(NzC1-z)(但し、0.05≦b≦0.75、0≦c≦0.75、0.6≦z≦1)で示される組成からなり層厚が0.5〜8μmの被膜層が上層に形成され、少なくとも2層からなることを特徴とする耐摩耗性皮膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 16/30

FI (3件)：

C23C 14/06 A ,  B23B 27/14 A ,  C23C 16/30

Fターム (18件)：

3C046FF09 ,  3C046FF16 ,  3C046FF25 ,  4K029AA04 ,  4K029BA54 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K030BA02 ,  4K030BA18 ,  4K030BA19 ,  4K030BA41 ,  4K030BB13 ,  4K030CA03 ,  4K030FA01 ,  4K030LA01 ,  4K030LA22