薄膜積層体とその被覆部材

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山野宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-359298
公開番号（公開出願番号）：特開2000-178739
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】種々の基材に対して高い密着性が得られ、かつ膜厚が厚い薄膜積層体とその被覆部材とを提供する。【解決手段】周期律表IVa、Va、VIa族金属元素およびボロン、アルミニウム、シリコン、ゲルマニウムの群から選択される1種以上の元素と、炭素、窒素の1種以上の組み合わせからなる化合物薄膜Aと炭素と窒素を主成分とする化合物薄膜Bを交互に繰り返し積層した薄膜積層体とする。このような薄膜積層体は、耐摩耗性の低下はほとんど無く、膜全体の靭性は向上し、応力の緩和にも効果があって基材との高い密着性が得られる。

請求項（抜粋）：

周期律表IVa、Va、VIa族金属元素ならびにボロン、アルミニウム、シリコンおよびゲルマニウムの群から選択される1種以上の元素と炭素、窒素の1種以上との組み合わせからなる化合物薄膜Aと、炭素と窒素を主成分とする化合物薄膜Bとを交互に繰り返し積層したことを特徴とする薄膜積層体。

IPC (4件)：

C23C 16/30 , C23C 14/06 , C23C 28/00 , B23B 27/14

FI (5件)：

C23C 16/30 , C23C 14/06 L , C23C 14/06 N , C23C 28/00 A , B23B 27/14 A

Fターム (65件)：

3C046FF02 , 3C046FF03 , 3C046FF04 , 3C046FF05 , 3C046FF09 , 3C046FF11 , 3C046FF16 , 3C046FF25 , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029AA06 , 4K029BA02 , 4K029BA07 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA35 , 4K029BA55 , 4K029BA56 , 4K029BA58 , 4K029BA59 , 4K029BA60 , 4K029BB02 , 4K029BD03 , 4K029BD04 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DD06 , 4K030AA10 , 4K030AA16 , 4K030BA02 , 4K030BA09 , 4K030BA26 , 4K030BA27 , 4K030BA29 , 4K030BA36 , 4K030BA38 , 4K030BA53 , 4K030BA56 , 4K030BA57 , 4K030BB12 , 4K030CA01 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030CA04 , 4K030CA05 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030LA22 , 4K030LA23 , 4K044AA02 , 4K044AA06 , 4K044AA09 , 4K044AA13 , 4K044AB05 , 4K044BA02 , 4K044BA18 , 4K044BA19 , 4K044BB02 , 4K044BC01 , 4K044BC05 , 4K044BC06 , 4K044CA13 , 4K044CA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

硬質炭素膜被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-039248 出願人：住友電気工業株式会社
硬質炭素積層膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-254813 出願人：住友電気工業株式会社
特開平3-291379

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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