特許
J-GLOBAL ID：200903062111072982
干渉測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171209
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 フリンジスキャンの測定精度を向上させる。【解決手段】 CCDカメラ10は、被検光束と参照光束との間に存在する光路長差によって生じる干渉縞の画像をとらえる。コンピュータ11は、CCDカメラ11から出力される画像信号のうち、ある特定の画素の輝度信号の変化を監視しつつ、フリンジスキャンによってピエゾアクチュエータ18に変位を生じさせる。このとき、上述の画素の輝度信号は変化する。フィゾーレンズ43の予定駆動量が、干渉測定装置の光源から出射される光の1/2波長に相当する値に達したとき、コンピュータ11はフリンジスキャン開始前の輝度値とフリンジスキャン終了時の輝度値とを比較する。これにより、参照光束と被検光束との間の光路長差の制御誤差を求め、次のフリンジスキャンに際して出力されるピエゾ指令信号を補正し、フィゾー面43を精度よく駆動して干渉測定精度を高める。
請求項（抜粋）：
参照光束形成手段で形成される参照光束の光路長と、被検物で形成される被検光束の光路長との間の光路長差をアクチュエータによって変化させ、前記参照光束と前記被検光束との間で生じる干渉状態の変化に基づいて前記被検物の精度を計測する干渉測定装置において、干渉測定結果に基づいて前記光路長差の変化量を検出する光路長差変化量検出手段と、前記光路長差変化量検出手段で検出された前記光路長差の変化量と、前記光路長差の予定変化量との差に基づいて前記光路長差の変化量を制御する光路長差制御手段とを有することを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (26件)：
2F064AA09
, 2F064BB03
, 2F064CC04
, 2F064EE05
, 2F064FF02
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG47
, 2F064GG51
, 2F064GG61
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA54
, 2F065BB22
, 2F065BB25
, 2F065CC21
, 2F065DD03
, 2F065FF49
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065LL36
, 2F065LL37
