特許

J-GLOBAL ID：200903062116700361

アイライン型フォトレジスト組成物

発明者： ジェームズ・ジー・シェルナット
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207025
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133608
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】画像形成したフォトレジストを現像したときに線成長が生じることがあり、側壁の明瞭度をより高くすることが求められているので、線成長をさらに減少させる組成物を提供する。【解決手段】320〜420nmの波長で放射線に付したとき、酸を生成するための放射線感光性成分、樹脂バインダー及び反応性オリゴマーを含有する、ネガ型光画像形成性組成物。この組成物は、プリント基板及び集積回路パッケージを構成する際に有用である。

請求項（抜粋）：

置換トリアジン化合物又は置換オキサジアゾール化合物からなる光酸発生剤、1個又は2個以上の架橋基を含有する反応性オリゴマー及び樹脂バインダーを組み合わせてなる、約320〜約420nmの波長で光画像形成性であるアイラインネガ型光画像形成性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (4件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R