特許
J-GLOBAL ID：200903062117692788
表面検査照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-516642
公開番号（公開出願番号）：特表平10-509238
出願日： 1995年11月10日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】反射面(3)の検査人(2)による表面欠陥(6)のための視覚検査に使用する表面検査照明装置(1)である。この装置を使用している時、この装置は光を発生する区域を有する。この区域から発生する光の強さは、この区域を横切る仮想線(A-B)に沿う距離のほぼ正弦波関数の指数関数として徐々に変化する。平坦な、欠陥のない反射試験面における上記区域からの光の鏡面反射がほぼ正弦波の強さの分布を有するように検査人によって知覚される。
請求項（抜粋）：
反射面の検査人による表面欠陥のための視覚検査に使用し、使用中に光を発生する区域を有する表面検査照明装置において、前記区域を横切る仮想線に沿う距離のほぼ正弦波関数の指数関数として前記区域から発生する光の強さを徐々に変化させ、平坦な、欠陥のない反射試験面における前記区域からの光の鏡面反射がほぼ正弦波の強さの分布を有するように検査人によって知覚されることを特徴とする表面検査照明装置。
FI (2件)：
G01N 21/84 E
, G01N 21/84 D
