特許

J-GLOBAL ID：200903062127561355

光導波路

発明者： 塩野谷 孝 ,  福田 昌史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153864
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027931
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】チャネル型やスラブ型導波路のように、コアが基板の表面近くに位置する光導波路であって、反射防止膜などの光学薄膜を容易にコアの端面上に形成することのできる光導波路を提供する。【構成】基板1と、基板1の表面6の少なくとも一部に形成されたコア2とを有し、基板1の端面11にコア2の端面12が位置する光導波路において、基板1のコア2が形成されている面6に、補助部材4を搭載し、部材4の端面14を、コア2の端面12が位置する基板1の端面11と同一平面上に配置し、基板1の端面11および補助部材4の端面14の上に、連続した光学薄膜3を形成する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の表面層の少なくとも一部に形成されたコア部とを有し、前記基板の端面に前記コア部の端面が位置する光導波路において、前記基板のコア部が形成されている面上に、前記基板の端面を延長するための補助部材を有し、前記補助部材の何れか端面は、前記コア部の端面が位置する基板の端面のうち少なくとも一の端面と同一平面上に配置され、前記基板の端面および前記部材の端面の上には、両端面に渡って連続した1以上の層からなる光学薄膜が形成されていることを特徴とする光導波路。