特許

J-GLOBAL ID：200903062128335650

波長ゆらぎ測定方法および装置

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-284606
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090765
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【目的】 半導体レーザ等の光源光において生じる極めて微細な波長ゆらぎを干渉縞画像のゆらぎとして捉えることにより、光源光の波長ゆらぎ周波数および波長ゆらぎ量を、共に定量的に測定できるようにする。【解決手段】 測定対象の光源から所定の出力波長の光波を射出させる(S1)。光路長差を所定距離に設定すると共に、光源から射出された光波を分割後に干渉させて縞画像を得(S2)、得られた縞画像を時系列的に撮像し、所定の画像信号に変換して取り込む(S3)。取り込まれた画像信号に基づき、位相解析(S4〜5)および周波数解析(S6〜7)を行ない、出力波長のゆらぎ量およびゆらぎ周波数を求め、波長ゆらぎを特定する(S8)。

請求項（抜粋）：

所定の出力波長で光源から射出された1つの光波を分割し、該分割された複数の光波を、所定の光路長差が相互間に設定された複数の光路に沿って各々導いた後に互いに干渉せしめ、撮像面上に縞画像を生ぜしめて該縞画像を所定の画像信号として時系列的に取り込み、所定の位相解析手法を用いて、前記画像信号に基づき前記縞画像の位相のゆらぎ量を求めると共に、所定の周波数解析手法を用いて、前記画像信号に基づき前記縞画像の位相のゆらぎ周波数を求め、求められた前記位相のゆらぎ量と、前記光路長差および前記出力波長とに基づき、該出力波長のゆらぎ量を求めると共に、求められた前記位相のゆらぎ周波数に基づき、前記出力波長のゆらぎ周波数を求めることを特徴とする波長ゆらぎ測定方法。

IPC (3件)：

G01J 9/02 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01J 9/02 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

Fターム (24件)：

2F064AA00 ,  2F064EE05 ,  2F064GG00 ,  2F064GG02 ,  2F064GG22 ,  2F064HH07 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA51 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02