特許

J-GLOBAL ID：200903062133319582

インデックス表示ユニット及びインデックス表示方法

発明者： 山▲崎▼ 充晴
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115999
公開番号（公開出願番号）：特開平9-027534
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】被処理物にライン投入から完成まで一貫したIDを表示する手段を提供し、又ID情報による処理の自動化を図る。【解決手段】必要なID情報をバーコードリーダ15により書き込み装置13へ入力し、その情報をアンテナ14でキャリア11に取り付けられたトランスポンダ1へ書き込む。次にウエハ群12を、洗浄処理装置20へ投入する。これには読み取り装置17が設置されており、発信されたID情報を読み取り、コンピュータ19へデータ転送し、読み取り装置10から送られてきたIDデータによって、ウエハ群がどのような処理状況にあるかを認識し、それに見合った処理条件のデータにより自動的に製品の洗浄処理を行う。

請求項（抜粋）：

運搬用またはウェット処理用のキャリアに収納されて製造ラインに投入される被処理体に付与されたインデックス情報を表示するインデックス表示ユニットであって、前記インデックス情報を記憶し、外部読み取り手段に送信可能なトランスポンダを具備してなり、前記キャリアに着脱可能であることを特徴とするインデックス表示ユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65B 61/20 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65B 61/20 ,  H01L 21/02 A