特許

J-GLOBAL ID：200903062133330381

感光性樹脂組成物とそれを用いた絶縁フィルム及び多層配線板

発明者： 奈良原 正俊 ,  川本 峰雄 ,  諏訪 時人 ,  鈴木 雅雄 ,  天羽 悟 ,  高橋 昭雄 ,  深井 弘之 ,  横田 光雄 ,  小林 史朗 ,  宮崎 政志
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130924
公開番号（公開出願番号）：特開平11-049847
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、粗化性および接着性が共に良好な絶縁膜、および、接続信頼性の高いビアホールを形成できる感光性樹脂組成物と多層配線板を提供する。【解決手段】本発明は、エポキシ樹脂である第1の樹脂と、側鎖にN-置換カルバミン酸エステル原子団およびラジカル重合性不飽和結合を有する第2の樹脂とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物と、それを層間絶縁膜として用いた多層配線板にある。

請求項（抜粋）：

エポキシ樹脂である第1の樹脂と、側鎖にN-置換カルバミン酸エステル原子団およびラジカル重合性不飽和結合を有する第2の樹脂とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

C08G 59/68 ,  G03F 7/038 503 ,  H05K 3/46 ,  C08F 20/10 ,  C08F290/00 ,  C08F299/00

FI (6件)：

C08G 59/68 ,  G03F 7/038 503 ,  H05K 3/46 T ,  C08F 20/10 ,  C08F290/00 ,  C08F299/00