特許
J-GLOBAL ID：200903062144327951
レーザ加工装置及びレーザ加工方法並びにダムバーの切断方法及びリードフレームの加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268802
公開番号（公開出願番号）：特開平7-116884
出願日： 1993年10月27日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：
【要約】【目的】被加工材の切断部付近に付着するドロスやスパッタを低減することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法、並びにこのレーザ加工方法を利用したダムバーの切断方法及びリードフレームの加工方法を提供する。【構成】断面が細長い楕円形のレーザビーム52を用い、アシストガスを噴出させながらレーザビーム52でダムバー1を切断する際に、ダムバー1の下側に、断面形状がほぼ三角形をなしその頂部がアシストガスの流れに対向するように配置された三角堰部10Aを有するガス流れ制御治具10を配置する。この時、三角堰部10Aの稜線10aとダムバー1上のスポットの長手方向とが平行になるように対向させる。また、ガス流れ制御治具10を冷却剤16で冷却し、噴出ポート12b,12cより冷却剤の一部を噴出させる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、このレーザ発振器から発振されるレーザビームを集光させる光学手段と、前記レーザビームと同軸的にアシストガスを噴出させるアシストガス供給手段とを有し、前記アシストガスを噴出させながら前記光学系で集光された前記レーザビームで被加工材を切断するレーザ加工装置において、前記被加工材の下側に、断面形状がほぼ三角形をなしその頂部がアシストガスの流れに対向するように配置された三角堰部を有するガス流れ制御治具を設置したことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/14
, B23K 26/00
, H01L 23/50
