特許
J-GLOBAL ID:200903062145307288

焦準装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-014043
公開番号(公開出願番号):特開平10-206747
出願日: 1997年01月28日
公開日(公表日): 1998年08月07日
要約:
【要約】【課題】本発明は、安定した合焦位置を維持することができる焦準装置を提供する。【解決手段】焦準ハンドル15より試料ステージまたは光学系の駆動源となる回転力をウォームギア14に与えると、ウォームギア14に噛合され該ウォームギア14の回転にともない回転されるウォームホイール17の回転にともない第1のリンク18と第2のリンク19により試料ステージ取付け部21を昇降案内機構23のガイドレール231に沿って昇降動作させ、試料ステージを合焦位置に移動させる。
請求項(抜粋):
顕微鏡の試料ステージまたは光学系を合焦位置に位置決めする焦準装置において、前記試料ステージまたは光学系の駆動源となる回転力が与えられるウォームギアと、このウォームギアに噛合され該ウォームギアの回転にともない回転されるウォームホイールと、このウォームホイールに設けられ該ウォームホイールの回転にともない直線移動され前記試料ステージまたは光学系を合焦位置に移動させる移動手段とを具備したことを特徴とする焦準装置。
IPC (3件):
G02B 21/26 ,  G01B 11/00 ,  G12B 5/00
FI (3件):
G02B 21/26 ,  G01B 11/00 Z ,  G12B 5/00 A
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭60-095266
  • 特開昭61-064566
  • 特開平3-003157
全件表示

前のページに戻る