特許

J-GLOBAL ID：200903062153719226

アパーチヤ絞り及びその認識コード読み取り方法

発明者： 中山 義則 ,  加藤 慎一 ,  伊藤 博之 ,  早田 康成 ,  戸所 秀男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217251
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055122
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】開口孔の位置やその形状を容易に判別できる電子線描画装置のアパーチャ絞りを提供すること、その認識コード読み取り方法を提供すること。【構成】アパーチャ絞り表面に認識コードパターン(2、3、4)を設ける。アパーチャ絞りに荷電ビームを照射し、認識コードパターンからの2次電子、反射電子を読み取ることで開口孔の位置、形状を容易に判別できる。認識コードパターンは凹凸パターンや、アパーチャ絞りの構成元素と質量の異なる元素からなるパターン等で構成される。

請求項（抜粋）：

荷電ビームの形状を制御するための開口孔を有するアパーチャ絞りにおいて、該アパーチャ絞り表面に認識コードパターンを有することを特徴とするアパーチャ絞り。

FI (2件)：

H01L 21/30 341 B ,  H01L 21/30 341 N