特許
J-GLOBAL ID：200903062153892351
静電容量式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-081156
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278216
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】コモンモードノイズの影響を受け難い静電容量式圧力センサの提供。【構成】厚肉の基板11と、所定の間隔を置いて基板11と対向して配置された薄肉のダイアフラム12と、基板11のダイアフラム12と対向する面に設けられた電極31, 32と、ダイアフラム12の基板11と対向する面に設けられた電極34とを有する静電容量式の圧力センサ1について、ダイアフラム12と電極34との間に電極34とは電気的に絶縁されたガード電極36を設ける。測定流体からのコモンモードノイズ電流は、ガード電極36側に誘導されてガード電極36を含むバイパス回路側に流れ、測定用の電極である電極31,32,34側には殆ど流れなくなる。
請求項（抜粋）：
厚肉の基板と、所定の間隔を置いて前記基板と対向して配置された薄肉のダイアフラムと、前記基板の前記ダイアフラムと対向する面に設けられた第1の電極と、前記ダイアフラムの前記基板と対向する面に設けられた第2の電極とを有し、前記ダイアフラムに加わる圧力を前記第1および第2の電極間の静電容量の変化により検出する静電容量式圧力センサであって、前記ダイアフラムと前記第2の電極との間に当該第2の電極とは電気的に絶縁されたガード電極が設けられていることを特徴とする静電容量式圧力センサ。
引用特許：
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