特許

J-GLOBAL ID：200903062174228990

被膜を有する石英ガラス製部材

発明者： ポウル・エー・ブライデンバッハ ,  ディートマール・ヘルマン ,  ヘルムート・レーバー
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-208135
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083835
出願日： 1995年08月15日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【課題】 良好な熱衝撃抵抗性を有し、弗化水素酸や硝酸への化学的抵抗力及び半導体有害物質の拡散に対して、長期安定性を有する被覆された部材を提供する。【解決手段】 半導体技術プロセスを実施するための、炭化珪素からなる表面を持つ被膜を有する石英ガラス製部材において、該被膜が炭化珪素と、炭化珪素よりも硬度が小さくしかも弾性率も小さい、そして濃度が層の厚さ方向に内側から外側に向かって減少する少なくとも一つの付加成分とからなる勾配層を含有することを特徴とする石英ガラス製部材。

請求項（抜粋）：

半導体技術プロセスを実施するための、炭化珪素からなる表面を持つ被膜を有する石英ガラス製部材において、該被膜が炭化珪素と、炭化珪素よりも硬度が小さくしかも弾性率も小さい、そして濃度が層の厚さ方向に内側から外側に向かって減少する少なくとも一つの付加成分とからなる勾配層を含有することを特徴とする石英ガラス製部材。

IPC (8件)：

H01L 21/68 ,  B32B 17/06 ,  B32B 18/00 ,  C03C 17/22 ,  C04B 41/87 ,  C23C 16/32 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31