特許
J-GLOBAL ID：200903062179062462
バンプ外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-085266
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285548
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 配線パターンと分離してバンプのみの画像を得ることができる上、バンプの輪郭を精度良く観察でき、カップ型のバンプであってもバンプ外観の良否を正確に判定できるバンプ外観検査装置を提供する。【構成】 表面に突起状のバンプ103を持つ半導体チップ102が載置されるべきステージ11と、撮像部10と、2値化処理を含む画像処理を施して、バンプ103の輪郭を表す画像を抽出する画像処理部15と、バンプ103の外観の良否を判定する中央演算処理部14とを備える。ステージ11に対して平行に、全周から中心へ向かって略水平に光を発する第1の環状照明部25と、全周から第1の環状照明部25の中心へ向かって斜め下方に光を発する第2の環状照明部26とを備える。第1,第2の環状照明部25,26の高さを可変して設定することができる機構制御部12とを備える。
請求項（抜粋）：
表面に突起状のバンプを持つ半導体チップが載置されるべきステージと、上記ステージの上方に設けられ、上記ステージ上に載置された半導体チップの表面を撮像する撮像部と、上記撮像部によって得られた画像に対して2値化処理を含む画像処理を施して、上記バンプの輪郭を表す画像を抽出する画像処理部と、上記画像処理部が抽出した画像に基づいて、上記バンプの外観の良否を判定する中央演算処理部とを備えたバンプ外観検査装置において、上記ステージに対して平行に、実質的に環状に設けられ、全周から中心へ向かって略水平に光を発する第1の環状照明部と、上記第1の環状照明部と平行に、実質的に環状に設けられ、全周から上記第1の環状照明部の中心へ向かって斜め下方に光を発する第2の環状照明部と、上記第1および第2の環状照明部と上記ステージ上に載置された半導体チップとの相対位置を、少なくとも鉛直方向に関して可変して設定することができる機構制御部とを備えたことを特徴とするバンプ外観検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 1/00
, H01L 21/66
, H01L 21/321
G01B 11/24 C
, G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
, G06F 15/64 D
, G06F 15/64 320 F
, H01L 21/92 604 T
