特許

J-GLOBAL ID：200903062184554381

窒化アルミニウム基板の製造方法

発明者： 大矢 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220310
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067952
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 窒化アルミニウムの熱伝導率をさらに高めて基板の放熱性を向上させた窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。【解決手段】 窒化アルミニウム粉末と焼結助剤とを混合し、溶媒と分散剤とを添加して混合し(S1)、その後バインダーおよび可塑剤を添加してさらに混合する混練工程(S2)と、この混合体をシート状に成形するシート成形工程(S3)と、シート成形体中のバインダーを燃焼させて除去するバーンアウト工程(S6)と、その後焼成を行って窒化アルミニウムの焼結体を形成する第1焼結工程(S7)と、この焼結体をカーボンからなる加熱手段により再焼成する第2焼結工程(S8)とを含む。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム粉末と焼結助剤とを混合し、これに溶媒と分散剤とを添加して攪拌混合し、その後バインダーおよび可塑剤を添加してさらに攪拌混合する混練工程と、この混合体をシート状に成形するシート成形工程と、シート成形体中のバインダーを燃焼させて除去するバーンアウト工程と、その後焼成を行って窒化アルミニウムの焼結体を形成する第1焼結工程と、この焼結体をカーボンからなる加熱手段により再焼成する第2焼結工程とを含むことを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。