特許

J-GLOBAL ID：200903062199364325

表面検査装置

発明者： 近藤 孝司 ,  守屋 進 ,  内田 洋之 ,  戸村 寧男 ,  永井 政邦 ,  植竹 徹司
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305942
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145639
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】筋状欠陥以外のものを筋状欠陥として誤検出することのない、また、継続している筋状欠陥が途中で途切れたり、曲がったりしていても筋状欠陥を複数の欠陥として誤検出することのない表面検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】矢印A方向に走行する被検査材1表面の被検査領域17からの反射光2aを受光して被検査領域17の二次元画像を表す二次元画像データを生成する二次元撮像器3と、二次元撮像器3で得られた二次元画像データに基づき欠陥を検出して欠陥検出結果を出力する欠陥検出手段4とを備えた表面検査装置100において、欠陥検出手段4から出力される欠陥検出結果を、複数の被検査領域分記憶する記憶手段9と、記憶手段9に記憶された複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づいて被検査領域17内の欠陥を評価する欠陥評価手段10とを備えた。

請求項（抜粋）：

所定の走行方向に走行する被検査材表面の所定の被検査領域からの反射光を受光して該被検査領域の二次元画像を表す二次元画像データを生成する二次元撮像器と、該二次元撮像器で得られた二次元画像データに基づき欠陥を検出して欠陥検出結果を出力する欠陥検出手段とを備えた表面検査装置において、前記欠陥検出手段から出力される欠陥検出結果を、複数の被検査領域分記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づいて前記被検査領域内の欠陥を評価する欠陥評価手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01N 21/89 B ,  G01B 11/30 E ,  G06F 15/62 400