特許
J-GLOBAL ID：200903062203416416
塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-183956
公開番号（公開出願番号）：特開平10-005657
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 安定した精密塗布を実現し、タクトタイムの短縮、歩留まりの向上など、PZT方式のインクジェットヘッド等の生産性の向上を図る。【解決手段】 垂直シリンジ3は、図示しないディスペンサーに接続され、シリンジ固定用のブランケット6により装置に固定されている。垂直ニードル5は垂直シリンジ3に取り付けられており、該垂直ニードル5の先端は垂直ニードル固定用ブラケット4により固定されている。斜めニードル10はCCDカメラ1の撮影視野に収まるように、斜めニードル固定用ブラケット9により固定されている。センサ18,19は、シリンジ固定用ブラケット6にシリンジ3,8を固定する際に、これらシリンジの有無を確認するセンサで、垂直シリンジ3用のセンサ18と斜めシリンジ8用のセンサ19の2つのセンサを、シリンジ固定用ブラケット6に設置して、シリンジ3,8の取り付け状態を確認をするようにしている。
請求項（抜粋）：
高精度位置決め駆動が可能なX,Y,θの3軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Z軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装置において、前記シリンジの取り付け部に該シリンジの取り付けの有無を検出するセンサを有することを特徴とする塗布装置。
IPC (6件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, H01L 21/288
, H01L 27/01 301
, H05K 3/10
, H05K 3/34 504
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, H01L 21/288 Z
, H01L 27/01 301
, H05K 3/10 D
, H05K 3/34 504 C
