磁性流体軸封装置並びにその駆動方法及び装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118117
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288277
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】差動排気用の中間室を利用した磁性流体軸封装置において、中間室の圧力制御をそれほど高精度にしなくても磁性流体膜の破れを防止できる磁性流体軸封装置を提供する。【構成】プロセス室21に面していて回転軸1のまわりに配置された主ポールピース2と、主ポールピース2に近接又は接触して配置された主磁石3と、主磁石3によって形成される磁気閉回路Jに囲まれる中間室31と、中間室31を排気するポンプ18とを有する磁性流体軸封装置である。主ポールピース2と回転軸1との間に形成される磁性流体膜4によってプロセス室21と中間室31との間の差圧が保持される。磁性流体膜4を形成する主磁石3は、主ポールピース3のすぐ近くに配置される。

請求項（抜粋）：

プロセス室内とプロセス室外とにわたって配設される回転軸のまわりの軸方向の圧力差を保持する磁性流体軸封装置において、プロセス室に接していて回転軸に対して隙間をおいて配置された主ポールピースと、主ポールピースと回転軸との間の隙間に形成される磁性流体膜と、主ポールピースに隣接して配置された主磁石と、主磁石を間に挟んで主ポールピースに対向して配置された副ポールピースと、主磁石の働きにより主ポールピース、回転軸、そして副ポールピースを経由して形成される磁気閉回路によって囲まれる中間室と、その中間室を減圧する中間室減圧手段とを有することを特徴とする磁性流体軸封装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-341665
特開平3-213692
特開平4-341665

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