特許

J-GLOBAL ID：200903062238783152

超小形モノリシック可変電気デバイスおよびそれを含む装置

発明者： ブラッドリィ エム.カナック
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205918
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021967
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 超小形モノリシック可変電気デバイスおよびそれを含む装置を提供する。【構成】 コンデンサ(40a)の一方の電極をなす基板(43)と、前記基板とモノリシックに形成されて前記コンデンサの他方の電極をなす導電性の部材(145)と、前記部材を搭載して前記基板に接近及び離間するようにその一部を偏向させ、かつ前記部材がその平常位置から偏向するときにエネルギを蓄積し、かつ蓄積された前記エネルギにより平常位置に復帰しようとする搭載手段(42、44)と、前記基板とモノリシックに形成され、制御信号(102)の印加により前記平常位置から前記部材の一部を偏向させる電界を発生して当該コンデンサの容量を変化させる制御電極(46a)とを備える。

請求項（抜粋）：

入力信号に作用する超小形モノリシック可変電気デバイスにおいて、(i)基板と、(ii)前記基板とモノリシックに形成されると共に間隔を置いた導電性の部材であって、コンデンサの各電極が前記部材及び基板である前記部材と、(iii)前記部材を搭載して前記基板に接近及び離間するようにその一部分を偏向させ、かつ前記部材の部分が平常位置から偏向するときにエネルギを蓄積する搭載手段であって、蓄積された前記エネルギにより偏向された前記部材の一部分を平常位置に復帰させようとする前記搭載手段と、(iv)前記基板及び前記部材によりモノリシックに形成された制御電極であって、前記平常位置から前記部材の部分を偏向させる方向に沿って該制御電極を前記部材から間隔を置き、前記コンデンサの容量を変化させるように、前記平常位置から前記部材の一部分を偏向させる電界を該制御電極と前記部材との間に発生するのに十分な制御信号をその間に印加することが可能な前記制御電極と、(v)前記入力信号を前記コンデンサに印加する手段とを備えていることを特徴とするデバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (3件)：

H01L 27/04 V ,  H01L 27/04 C ,  H01L 27/04 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可変容量コンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-236180   出願人：株式会社村田製作所
• 特表昭63-501993