特許
J-GLOBAL ID：200903062242618719
薬液吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191322
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023949
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 ガスが薬液配管内に混入しないようにした薬液吐出装置を提供する。【解決手段】 本薬液吐出装置30は、薬液を収容したキャニスター缶32と、窒素ガス圧入管34と、基端をキャニスター缶32の薬液内に浸漬させ、先端に薬液吐出ノズル36を、基端と先端との間に開閉バルブ38をそれぞれ有する薬液配管40とを備える。装置は、キャニスター缶と開閉バルブとの間に設けられた気体分離槽42と、気体分離槽の上部に接続され、気体分離槽から窒素ガスを放出する窒素ガス放出管44とを備える。装置は、気体分離槽内の薬液の液面を検出する液面検出計46と、窒素ガス放出管に設けられた自動開閉弁47と、液面検出計によって検出された薬液の液面の高低によって、窒素ガス放出管の自動開閉弁を自動的に開閉する制御装置48とを備えている。
請求項（抜粋）：
薬液を収容した薬液収容缶と、薬液収容缶の薬液上の空間に気体を圧入して薬液に圧力を作用させる気体圧入管と、基端を薬液収容缶の薬液内に浸漬させ、先端に薬液吐出ノズルを、基端と先端との間に開閉弁をそれぞれ有する薬液配管とを備え、薬液を収容した薬液収容缶に気体を圧入し、気体の圧力により薬液をノズルから吐出させる薬液吐出装置において、薬液収容缶と開閉弁との間の薬液配管に設けられた気体分離槽と、気体分離槽の上部に接続され、気体分離槽から気体を放出するようにした、開閉弁付き気体放出管とを備えていることを特徴とする薬液吐出装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, H01L 21/304 648
H01L 21/306 R
, H01L 21/304 648 K
