特許
J-GLOBAL ID：200903062251922161
反射レーザ光を用いた距離測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246627
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 反射レーザ光を用いた距離測定装置において、基準線から測定対象面までの距離の微小な変化を精度良く測定することが可能で、しかも、測定可能な距離の範囲が広い距離測定装置を提供する。【解決手段】 基準線6を測定対象面7と平行に設定する。レーザ光源1から測定対象面7に向けて、基準線6の垂直方向に対して斜めの角度θでレーザ光を照射する。測定対象面7で正反射された反射光が到達する位置にミラー2を配置する。ミラー2は基準線6上に設けられた回転軸9の回りで角度γの調整が可能である。ミラー2の前面側に基準線6に対して垂直に拡散板3を配置する。拡散板3の後方に、基準線6上に光軸を持つ集光レンズ4を配置する。集光レンズ4の焦点位置に位置検出素子5を配置する。位置検出素子5上に到達した反射光の位置の測定値Δxに基づいて基準線6から測定対象面7までの距離Lを求める。
請求項（抜粋）：
基準線に対して平行な測定対象面に向けて、基準線の垂直方向に対して斜めの角度でレーザ光を照射するレーザ光源と、測定対象面で正反射された反射光が到達する位置に配置され、基準線上に設けられた回転軸の回りで回転可能なミラーと、このミラーの前面側に配置され、基準線に対して垂直に設置された拡散板と、この拡散板の後方に配置され、光軸が基準線に一致する集光レンズと、この集光レンズの焦点位置に配置され、到達した反射光の位置を測定する位置検出素子とを備え、前記位置検出素子上に到達した反射光の位置に基づいて基準線から測定対象面までの距離を求めることを特徴とする反射レーザ光を用いた距離測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01C 3/06 A
, G01B 11/00 B
