特許
J-GLOBAL ID：200903062253326507
レーザ光観測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054561
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239220
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 高精度なレーザ光を観測することができるレーザ光観測装置を提供する。【構成】 複数の光ファイバを束ねて形成したファイバプレート200cを用いたレーザビーム観測装置である。同図では、ファイバプレート200cの出力面がCCDイメージセンサ200aの受光面に対向して配置されている。そして、このファイバプレート200cは、特殊なファイバプレートであり、それぞれの光ファイバが入射するレーザビーム側の入射面からCCDイメージセンサ200a側の出射面までを通過するレーザビームの光路が異なるように設計してある。各光ファイバのコアは、同図中の2a〜2fで示されており、これらのコア2a〜2fを通過するレーザビームは模式的に一点鎖線で描かれている。各コア2a〜2fの直径および間隔は約5μmであり、また、厚さは4mm、光ファイバの本数は数100万本である。
請求項（抜粋）：
レーザ光を観測するレーザ光観測装置において、前記レーザ光の照射される入射面と、前記レーザ光の出射される出射面と、を有し、前記入射面および前記出射面が、束ねられた複数の光ファイバの両端面により形成され、前記出射面から出射されるレーザ光の位相が異なるようになされた複数の前記光ファイバを有するファイバプレートと、入射した光を電気に変換する受光面を有し、前記受光面が前記ファイバプレートの出射面に対向して配置された固体撮像素子と、を備えることを特徴とするレーザ光観測装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G02B 6/42
, H01L 31/0232
