特許
J-GLOBAL ID：200903062261449685
表面検査装置および表面検査プログラムおよび表面検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-332943
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098836
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】 検査対象物の表面検査をより正確におこなうことを可能にする表面検査装置等を提供することを目的とする。【解決手段】 検査対象物に光を照射して、該検査対象物の画像データを取得する検査画像データ取得手段と、前記検査画像データが取得される際の前記検査対象物の傾き変位を取得する第1の傾き変位取得手段と、基準対象物の傾き変位と、該基準対象物に光を照射して取得される基準画像データにおける前記光の反射変数との相関関係を第1の傾き変位依存データとしてあらかじめ取得する第1の傾き変位依存データ取得手段と、前記第1の傾き変位依存データと前記測定された傾き変位とに基づいて、前記検査画像データを補正する第1の補正手段と、を有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象物に光を照射して、該検査対象物の検査画像データを取得する検査画像データ取得手段と、
前記検査画像データが取得される際の前記検査対象物の傾き変位を取得する第1の傾き変位取得手段と、
基準対象物の傾き変位と、該基準対象物に光を照射して取得される基準画像データにおける前記光の反射変数と、の相関関係を第1の傾き変位依存データとしてあらかじめ取得する第1の傾き変位依存データ取得手段と、
前記第1の傾き変位依存データおよび前記第1の傾き変位取得手段にて取得された傾き変位に基づいて、前記検査画像データを補正する第1の補正手段と、
を有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G051AA42
, 2G051AB12
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA14
, 2G051EA21
