特許

J-GLOBAL ID：200903062261962285

プロセスの終点検出方法,終点検出装置及び記録媒体、並びに化学的機械研磨装置

発明者： 宮野 尚哉 ,  三浦 潔 ,  長谷川 一人 ,  白井 靖雄
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345504
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162894
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 予め複数の試験を行うことなく、短時間で終点を判定することができ、またコストを低減することができるプロセスの終点検出方法、その実施に使用する終点検出装置、及びそのコンピュータプログラムが記録してある記録媒体、並びにプロセスの終点検出装置を備える化学的機械研磨装置を提供する。【解決手段】 演算部13は第1時系列データx(t)及び第2時系列データx(t+T)に用いて共分散Cov(s)を演算し、得られた各共分散Cov(s)の平均値を算出する。更に、共分散Cov(s)から自己相関関数を算出してもよい。終点判定部14は、前記平均値と第1閾値K1 とを比較し、前者が後者より小さい場合、その時間領域にEPD=0を設定し、前者が後者以上である場合、EPD=1を設定する。そして、終点判定部14は、相隣る時間領域のEPDが共に零である場合、終点であると判定して、駆動制御器2に駆動停止指令を出力する。

請求項（抜粋）：

プロセスの進行に伴って変化する物理量を経時的に測定して時系列データを得、その時系列データに基づいてプロセスの終点を検出する方法において、予め定めた時間領域の時系列データが得られる都度、当該時系列データから、その一部である第1時系列データ及び該第1時系列データより所定の遅れ時間だけ遅れた第2時系列データを抽出し、得られた両時系列データの相関を演算し、その結果に基づいてプロセスの終点を判定することを特徴とするプロセスの終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/306

FI (2件)：

H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/306 M