特許
J-GLOBAL ID：200903062265908854
走査型近接場顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140804
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334520
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 光プローブと試料表面とを短時間で粗動接近させることができ、誤動作によるプローブの破損の発生を防止できる走査型近接場顕微鏡を提供する。【構成】 放射される光の波長より小さい大きさの開口を持つ光プローブ13と、試料面に対し垂直方向に光プローブ13を粗動で移動させるための移動機構24と、試料6から発せられる光を受光する光検出器31と、試料6からの光を前記光検出器31に導くための光学部材14と、前記移動機構24の動作を制御する粗動制御装置30とを備える。粗動制御装置30は、前記光検出器31からの出力に基づいて、光検出器31に投射された光スポットの大きさを判定して、光スポットの大きさが予め定めた大きさに達したと判定したとき、粗動停止信号を出力する手段を有する。移動機構24は、粗動制御装置30からの粗動停止信号を受けて粗動を停止する。
請求項（抜粋）：
使用光源から発する光の波長より径が小さい開口部を持つ光プローブを有し、この光プローブからの光により試料を照射し、試料から放射した光を検出して、試料の状態を観察する走査型近接場顕微鏡において、試料面に対し垂直方向に光プローブを粗動で移動させるための移動機構と、試料を透過又は反射した光を受光する光検出器と、試料を透過又は反射した光を前記光検出器に導くための光学部材と、前記移動機構の動作を制御する粗動制御装置とを備え、前記粗動制御装置は、前記光検出器からの出力に基づいて、光検出器に投射された光スポットの大きさを判定して、その光スポットの大きさが予め定めた大きさに達したと判定したとき、粗動停止信号を出力する手段を有し、前記移動機構は、粗動制御装置からの粗動停止信号を受けて粗動を停止することを特徴とする走査型近接場顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01R 31/302
, G02B 21/00
G01N 37/00 D
, G02B 21/00
, G01R 31/28 L
