特許

J-GLOBAL ID：200903062270259856

縦型熱処理装置

発明者： 山賀 健一 ,  見方 裕一 ,  山本 明人
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347784
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106255
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 マニホールドの腐食を防止して熱処理の自由度を大きくすることのできる縦型熱処理装置を提供すること。【構成】 反応管の下部側の金属製のマニホールド3の内周面を覆うように石英よりなるカバー4を設け、カバー4とマニホールド3との間の間隙Sにガス導入管40からN2 ガスを供給してパージする。ガス供給管5、7及び排気管6、8の内端部分を石英管52、62、72、82で構成すると共に、カバー4に貫通穴を形成してこの中に石英板を嵌合させて溶着し、石英板の穴の中に石英管を挿入する。また例えば石英管と石英板との間に鍔部を備えた筒状体を嵌合させる。

請求項（抜粋）：

縦型の反応管の下部側に、ガス供給管及び排気管が接続された金属製のマニホールドが設けられ、多数の被処理体を保持具に搭載してマニホールドの下端開口部より反応管内に搬入する縦型熱処理装置において、前記マニホールドの内周面を覆うように設けられた耐熱材よりなるカバーと、このカバーとマニホールドの内周面との間の間隙に不活性ガスを導入するための不活性ガス導入手段と、を備えてなることを特徴とする縦型熱処理装置。