特許

J-GLOBAL ID：200903062281352009

ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： 中尾 元 ,  佐藤 健一郎 ,  上西 一也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327091
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142215
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】薄膜プロセスにおいても十分な面内均一性が保持され、所望のレジストパターンを高感度、高解像力で再現し得るレジスト組成物を提供すること。【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び溶剤を含有し、25°Cでの粘度が2〜7センチポアズであるポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)溶剤、を含有し、25°Cでの粘度が2〜7センチポアズであることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

IPC (15件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/06 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/06 ,  C08F222/12 ,  C08F222/40 ,  C08F232/08 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00 ,  C08L 35/02 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/027

FI (15件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/06 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/06 ,  C08F222/12 ,  C08F222/40 ,  C08F232/08 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00 ,  C08L 35/02 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (112件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BJ00 ,  2H025BJ06 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CB43 ,  2H025CC03 ,  4J002BG031 ,  4J002BG071 ,  4J002BH001 ,  4J002BH021 ,  4J002EA037 ,  4J002EB006 ,  4J002EB027 ,  4J002ED027 ,  4J002EE037 ,  4J002EH037 ,  4J002EH157 ,  4J002EL067 ,  4J002EP017 ,  4J002EQ016 ,  4J002EU027 ,  4J002EU186 ,  4J002EU226 ,  4J002EV207 ,  4J002EV236 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02R ,  4J100AK32P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL36P ,  4J100AL39P ,  4J100AL41P ,  4J100AM21R ,  4J100AM39P ,  4J100AM43P ,  4J100AM45P ,  4J100AM47P ,  4J100AR09Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA12Q ,  4J100BA12R ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA28R ,  4J100BA34P ,  4J100BA34Q ,  4J100BA34R ,  4J100BA37R ,  4J100BA38R ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BA51Q ,  4J100BA56P ,  4J100BA56R ,  4J100BA58P ,  4J100BA58Q ,  4J100BA58R ,  4J100BB01R ,  4J100BB18P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100BC12Q ,  4J100BC23R ,  4J100BC26R ,  4J100BC43R ,  4J100BC48R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC58R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA62 ,  4J100JA38