特許

J-GLOBAL ID：200903062291001247

ウェーハ研磨装置及びウェーハの研磨方法

発明者： 佐藤 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-273073
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093192
出願日： 2004年09月21日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】ウェーハの研磨量をミクロン単位に正確に制御してウェーハを所望の厚さに形成する。【解決手段】研磨送りをする駆動源の研磨中における負荷電流と研磨量との相関関係3を予め取得しておき、そのデータに基づき、所望の研磨量に対応する負荷電流値を求める。そして、実際に検出された負荷電流値が求めておいた負荷電流値と一致した時に研磨を終了することにより、ウェーハを所望の厚さとする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを研磨する研磨砥石及び該研磨砥石を回転駆動する駆動源を備えた研磨手段と、該研磨手段を該チャックテーブルに対して接近または離反させる研磨送り手段とを少なくとも備えたウェーハ研磨装置であって、 該駆動源の負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段と、 少なくとも該研磨砥石がウェーハに接触してから該駆動源の負荷電流値が増加する間の初期変化を含む該負荷電流値と該ウェーハの研磨量との相関関係データに基づくウェーハの所望研磨量に対応した所望負荷電流値の入力を受け付ける入力受け付け手段と、 該入力受け付け手段において受け付けた所望負荷電流値を記憶する所望負荷電流値記憶手段と、 該所望負荷電流値記憶手段に記憶された所望負荷電流値と該負荷電流値検出手段によって検出された負荷電流値との比較の結果に基づき該研磨送り手段を制御する制御手段と から構成されるウェーハ研磨装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/04 ,  B24B 49/10

FI (3件)：

H01L21/304 622S ,  B24B37/04 K ,  B24B49/10

Fターム (14件)：

3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB92 ,  3C034CA17 ,  3C034CB01 ,  3C058AA04 ,  3C058AA16 ,  3C058AC01 ,  3C058BA01 ,  3C058BA06 ,  3C058BB06 ,  3C058BC02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-175788   出願人：株式会社ディスコ