特許

J-GLOBAL ID：200903062292940026

半導体洗浄排水からの純水回収方法

発明者： 石川 薫
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125845
公開番号（公開出願番号）：特開平6-328070
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：

【要約】【目的】 イオン交換処理を施すことなく、RO膜分離装置により半導体洗浄排水を処理して高純度純水を効率的に回収する。【構成】 半導体洗浄排水をpH6〜9に調整したのち生物処理、除濁後、pH4〜7に調整したのち第1RO膜分離装置6で処理し、透過水をpH7〜9に調整したのち第2RO膜分離装置8で処理する。【効果】 第1RO膜分離処理をpH4〜7の微ないし弱酸性で行うことにより、NH4+を含むイオン、その他生物処理後更に残留する有機物の大部分を除去する。その後、第2(更には第3)RO膜分離処理をpH7〜9の弱アルカリ性で行うことにより、水中のCO2 をHCO3-としてRO膜の脱塩機能により効率的に除去する。装置設備の大型化、装置設置スペースの増大、造水コストの高騰をひきおこすことなく、高水質の純水を安定かつ安価に、効率的に得る。

請求項（抜粋）：

半導体洗浄排水をpH6〜9に調整したのち生物処理し、得られた生物処理水を除濁後pH4〜7に調整したのち第1の逆浸透膜分離装置で処理し、得られた透過水をpH7〜9に調整したのち第2の逆浸透膜分離装置で処理し、得られた透過水を回収することを特徴とする半導体洗浄排水からの純水回収方法。

IPC (3件)：

C02F 1/44 ZAB ,  B01D 61/58 ZAB ,  C02F 9/00 ZAB

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-028486
  
• 特開2051-031592
  
• 特開昭61-111198