液体窒素自動供給装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：菅井英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057120
公開番号（公開出願番号）：特開平7-269792
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】極低温装置に対し、必要なときに適量の液体窒素を自動的に供給できる液体窒素自動供給装置を提供することを目的とする。【構成】窒素ガス供給装置と、当該窒素ガス供給装置から供給される窒素ガスを極低温に冷却して液化するための窒素ガス液化装置と、当該窒素ガス液化装置によって液化された液体窒素を蓄える液体窒素容器とを備えて、極低温装置の近傍で自動的に液体窒素が製造されるようにする。液体窒素容器には液体窒素を安定に貯蔵するために、液体窒素を大気中に所定の流量でリークするリーク弁が設けられている。液体窒素容器と極低温装置とを結ぶ液体窒素移送管に設けられた遮断弁と、前記リーク弁は制御手段によって開閉制御され、当該制御手段は、極低温装置における液体窒素の残量が所定量より少なくなるか、あるいは決められた時間になると、前記リーク弁を閉じるとともに前記遮断弁を開いて、液体窒素を自動的に極低温装置に移送する。

請求項（抜粋）：

窒素ガス供給装置と、当該窒素ガス供給装置から供給される窒素ガスを極低温に冷却して液化するための窒素ガス液化装置と、当該窒素ガス液化装置によって液化された液体窒素を蓄える液体窒素容器と、当該液体窒素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量でリークするリーク弁と、液体窒素を使用する極低温装置と、前記液体窒素容器と前記極低温装置とを結ぶ移送管に設けられた遮断弁と、前記リーク弁および遮断弁を開閉制御する制御手段とを備え、当該制御手段は、前記極低温装置における液体窒素の残量をモニタし、当該残量が所定量より少なくなると、前記リーク弁を閉じるとともに前記遮断弁を開き、液体窒素を前記液体窒素容器から極低温装置に移送することを特徴とする液体窒素自動供給装置。

IPC (6件)：

F17C 6/00 , F17C 3/10 , F17C 13/00 302 , F17C 13/04 , F25J 1/00 , H01F 6/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-148688
特開昭62-179180

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