特許

J-GLOBAL ID：200903062301933348

ジョセフソン接合アレーデバイスとその製造方法

発明者： ツェーエ,アルフレート
出願人/特許権者： オクセル・オクサイド・エレクトロニクス・テクノロジー・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-506565
公開番号（公開出願番号）：特表2000-514957
出願日： 1997年07月19日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】それぞれ垂直に積層されたジョセフソン接合を含んでいる複数のメサ(コラム形状のエレメント)からなる2次元横アレイを含むサブミリメーター波長放射の発生器及び/又は検出器の特別の特性を有する超伝導デバイスが開示されている。このデバイスは、放射放出及び検出を必要とする多くの応用機器におけるマイクロ波から遠赤外領域の間の全体の周波数をカバーすることができる。その種々の具体例に従えば、このジョセフソン接合のコラム(積層体)は、超伝導電気上及び下コンタクト層の間に一体的に立てられている。コンタクト層から切り離されて相互に分離されたセグメントは、負荷とのインピーダンス整合のような回路パラメーターを最適化することができ、出力電力を最大化できる。外部電子制御により放射界を変調したり、そのデバイスの他の動作モードとすることができる。開示されたデバイス(図1)の特別の応用もまた記述されている。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の上に設けられかつ垂直に積層されたジョセフソン接合の直列アレイの中に連続した層を含んでいる超伝導薄膜フィルムを含み、さらに電気下及び上コンタクト上の、上記超伝導フィルムから作製された1又は複数の超伝導メサ構造物及び電圧と電流を電極に供給する手段とを含み、 上記メサが両側の超伝導電気端コンタクトの間に一体的に集積化され、かつ該手段は相互に群をなして接続されているこれらの超伝導メサのうちのどのような部分数に対しても設けられ制御することを特徴とするジョセフソン接合アレイデバイス。

IPC (2件)：

H01L 39/22 ZAA ,  H01L 39/24 ZAA

FI (2件)：

H01L 39/22 ZAA D ,  H01L 39/24 ZAA J