特許

J-GLOBAL ID：200903062306501489

ウエハのアライメント方法

発明者： 近藤 高行
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087803
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273018
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 ウエハの高精度なアライメントを行う方法を提供すること。【構成】 先ずアライメントマークの部分に塗布されているレジストのみに例えば露光を行ってその部分だけを除去し(ステップ1a)、次にレジストが除去されて表面に露出したアライメントマークからの反射光を光学的に読み取り(ステップ1b)、次いでその読み取り情報に基づいてウエハのアライメントを行う(ステップ1c)。また、ステップ1aでウエハの周辺部分のレジストを除去した後、ステップ1bにてそのレジストが除去された周辺部分に配置されるアライメントマークからの反射光を読み取って、ステップ1cでその読み取り信号に基づき他のアライメントマークの位置を補正するアライメント方法でもある。

請求項（抜粋）：

アライメントマークが設けられているとともに表面にレジストが塗布されたウエハのアライメント方法であって、先ず、前記アライメントマークの部分に塗布されている前記レジストのみを除去し、次いで、前記アライメントマークからの反射光を光学的に読み取ってその読み取り情報に基づき前記ウエハのアライメントを行うことを特徴とするウエハのアライメント方法。

FI (2件)：

H01L 21/30 525 A ,  H01L 21/30 507 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-062318
  
• 特開昭57-043420
  
• 特開平3-273609