特許

J-GLOBAL ID：200903062310333086

基板の付着異物検査装置および付着異物除去装置および付着異物除去方法

発明者： 首藤 和夫
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034399
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230910
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示器のガラス板を製造するに際し、ガラス板に露光処理してパターン等を焼き付けるが、表面に微小な異物が付着していると、焼き付け不良が生じる。そこで、ガラス板表面に光をあて、異物によって光が反射することを利用して異物の有無を検査していた。しかし、異物が必ず光を反射するものであるとは限らないので、従来の検査装置では見落しが多かった。【解決手段】 ガラス基板6の表面に沿って平行に、レーザビーム100を照射し、通過してきたレーザビーム100の照度を照度計8によって計測する。レーザビーム100はガラス板6の表面全幅を掃引し、照度計8は幅方向にスキャンして測定する。異物7があればその影によって照度が低下するので異物7が発見できる。

請求項（抜粋）：

基板表面の付着異物の有無を検査するための付着異物検査装置であって、前記基板の表面に平行な光を、前記表面に沿って照射する光源と、前記表面に沿って通過した光を受光してその強度を計測する照度計と、この照度計を前記基板の周辺に対向して移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする基板の付着異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  B08B 5/02 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/88 650 ,  B08B 5/02 Z ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 620

Fターム (46件)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AC15 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BC05 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CD04 ,  2G051DA17 ,  2G051GC15 ,  3B116AA02 ,  3B116AB42 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB55 ,  3B116BB72 ,  3B116BB75 ,  3B116CC05 ,  3B116CD41 ,  4M106AA10 ,  4M106AA20 ,  4M106AB16 ,  4M106AB18 ,  4M106BA05 ,  4M106CA17 ,  4M106CA19 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CA50 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ27 ,  4M106DJ31 ,  4M106DJ38 ,  4M106DJ40