外観検査用照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217899
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061928
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】被検査物から最適な反射光を得るための外観検査用照明装置を提供すること。【構成】本発明は外観検査用照明装置1は、被検査物である例えば半導体装置10の検査面に対して略垂直に配置される筒状拡散部2と、筒状拡散部2の筒外に配置され筒状拡散部2に光を照射する照射手段であるリング状光源3とを備えており、リング状光源3から照射する光を筒状拡散部2を介して拡散させ、その拡散光を筒状拡散部2の筒内21から半導体装置10へ当てて反射光を得るようにするものである。

請求項（抜粋）：

被検査物の外観を検査するにあたり、該被検査物へ光を当ててその反射光を得るための外観検査用照明装置であって、前記被検査物の検査面に対して略垂直に配置される筒状拡散手段と、前記筒状拡散手段の筒外に配置され該筒状拡散手段へ光を照射するための照射手段とを備え、前記照射手段から照射する光を前記筒状拡散手段を介して拡散させ、その拡散光を該筒状拡散手段の筒内から前記被検査物へ当てて反射光を得ることを特徴とする外観検査用照明装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

光学計測器の照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-326813 出願人：アストロデザイン株式会社
特開平4-301750

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