特許
J-GLOBAL ID：200903062317687690
セラミックグリーンシート成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247845
公開番号（公開出願番号）：特開2003-053716
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：
【要約】【課題】 ピンホールや亀裂を修復し隣接して乾燥部を備えた構造を持つセラミックグリーンシート成膜装置を提供する。【解決手段】 セラミックグリーンシート成膜装置においてグリーンシートのピンホールや亀裂の位置と形状を片面をレーザー光源、可視光源で、片面を光センサーでとらえ、セラミックグリーンシートとほぼ同一の組成の泥漿をピンホールや亀裂の位置にグリーンシート上を移動可能な泥漿吐出部または泥漿印刷部を持ち、併せて修復したピンホールや亀裂を平坦化し乾燥する乾燥部を持つ事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
セラミック仮焼粉末とバインダー、分散媒を混合した泥漿を走行するキャリアシート上に延伸し、乾燥して一定厚みのセラミックグリーンシートを連続的に製造する成膜装置において、セラミックグリーンシートの厚さ方向のピンホールや亀裂を検知する手段として、乾燥後のセラミックグリーンシートの厚さ方向の片面にレーザー光源または可視光源、残る片面に光センサー部が配置され、該光センサーで検知したセラミックグリーンシートのピンホールや亀裂の位置と形状の情報をもとに、前記セラミックスとほぼ同一の組成物泥漿を前記ピンホールや亀裂の位置に吐出または印刷し、ピンホールや亀裂を修復する手段としてグリーンシート上を移動可能な泥漿吐出部または泥漿印刷部を具備し、更に、修復部に隣接して乾燥部を具備した構造を特徴とするセラミックグリーンシート成膜装置。
Fターム (3件)：
4G052DA05
, 4G052DB02
, 4G052DC01
