超音波アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-043252
公開番号（公開出願番号）：特開平8-242592
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】複雑な振動系を必要とせず、振動体の形状及び寸法の自由度が大きく、容易に移動体の移動方向の転換が可能な超音波アクチュエータを提供する。【構成】偏平断面を有する棒状の弾性体1の両面に、圧電体3a,3b をその分極方向が互いに逆になるように付着して振動体2を構成した。弾性体1の左右両側の中央に支持ピン6を設け、両支持ピン6を介して振動体2を支持枠に固定した。弾性体1の上面に付着した圧電体3aをアンプ7及び位相シフタ8を介して2相発振器9と接続し、下面に付着した圧電体3bをアンプ10を介して2相発振器9と接続した。弾性体1を接地した。2相発振器9の出力周波数は振動体2の一次の縦振動の共振周波数に設定した。両圧電体3a,3b に+90°又は-90°の位相差で電圧が印加され、位相差の変更により端面の軸方向に縦・曲げ振動が結合された変位の楕円軌跡の向きが変更される。

請求項（抜粋）：

少なくとも一端が自由な状態に支持され、分極方向が異なる複数の分極が存在するように構成した圧電体を備えた棒状体である振動発生部と、前記棒状体の軸方向の縦振動および曲げ振動を発生させるため、前記圧電体に縦振動の共振駆動電圧を印加する電源部とを備え、前記棒状体の軸方向長さを縦振動と共振してその自由端部に振動の腹部が存在する長さとし、前記電源部を、前記振動発生部にその自由端部の質点の動きが楕円軌跡となる軸方向の伸びおよび縮みによる面内歪みを発生させるため、前記圧電体に位相差を有する電圧を印加可能としたことを特徴とする超音波アクチュエータ。

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