特許
J-GLOBAL ID：200903062323815233
H型振動子およびそのもれ振動低減方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-351315
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197252
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 本発明は角速度を検出するセンサの構成要素として用いられるH型振動子に関し、切削加工を行うことなくH型振動子のもれ振動の低減を図ることを目的とする。【解決手段】 XYZ三次元座標空間においてX方向に延在する振動子基体12の一端から、それぞれ+Y方向および-Y方向に延在する第1励振用振動部16および第1検振用振動部18と、振動子基体12の他端から、それぞれ+Y方向および-Y方向に延在する第2励振用振動部20および第2検振用振動部22とを備えるH型振動子10を設ける。第1検振用振動部18および第2励振用振動部20に介装されたボルト52,54,56,58およびナット60,62,64,66の位置を調整することでもれ電圧の低減を図る。
請求項（抜粋）：
XYZ三次元座標空間においてX方向に延在する振動子基体と、前記振動子基体の一端から+Y方向へ延在する第1励振用振動部と、前記振動子基体の他端から+Y方向へ延在する第2励振用振動部と、前記振動子基体の一端から-Y方向へ延在する第1検振用振動部と、前記振動子基体の他端から-Y方向へ延在する第2検振用振動部と、を備えるH型振動子において、前記第1励振用振動部にX方向の振動を与える第1励振装置と、前記第2励振用振動部にX方向の振動を与える第2励振装置と、前記第1検振用振動部に生ずるZ方向の振動の大きさを検出する第1検振装置と、前記第2検振用振動部に生ずるZ方向の振動の大きさを検出する第2検振装置と、前記第1励振用振動部のZ方向の重量バランスを可変とする第1調整機構と、前記第2励振用振動部のZ方向の重量バランスを可変とする第2調整機構と、を備えることを特徴とするH型振動子。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08 Z
