特許
J-GLOBAL ID：200903062326634205
自己清浄度診断型基板洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339765
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161676
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 各領域の清浄度を自己診断することのできる基板洗浄装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明の基板洗浄装置は、基板を保管するための保管手段と、基板を洗浄するための少なくとも1つの洗浄手段と、基板の清浄度を検査するための検査手段と、前記保管手段、洗浄手段および検査手段の間を相互に接続するための基板搬送系とを備えた基板洗浄装置において、前記保管手段に格納された清浄度の高いテスト基板に、搬送処理および洗浄処理の少なくともいずれか一方を処理する過程に対応する処理経路を通過させた後、前記検査手段において前記テスト基板の清浄度を検査させるための制御手段を備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を保管するための保管手段と、基板を洗浄するための少なくとも1つの洗浄手段と、基板の清浄度を検査するための検査手段と、前記保管手段、洗浄手段および検査手段の間を相互に接続するための基板搬送系とを備えた基板洗浄装置において、前記保管手段に格納された清浄度の高いテスト基板に、搬送処理および洗浄処理の少なくともいずれか一方を行う過程に対応する処理経路を通過させた後、前記検査手段において前記テスト基板の清浄度を検査させるための制御手段を備えていることを特徴とする基板洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 13/00
, G03F 1/08
