特許
J-GLOBAL ID：200903062329534023
高周波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289889
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134799
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 ロスタイムなく短時間にマッチングを取ることができる高周波装置を実現する。【解決手段】 マッチングボックス3の出力波形は、Vpp検出回路17に供給されてそのピークツーピーク値(Vpp)が検出され、メモリー19に供給されて記憶される。メモリー19に記憶されたVppの値は、変化率検出回路20に供給され、この変化率検出回路20において直前のVpp値と現在のVppの値とが比較され、Vppの変化率が制御回路13に供給される。コンデンサ4,5の逆転により、Vpp<0となった場合、コンデンサ4,5の位置がコンデンサの回転がマッチングポイントとは逆に回転している領域にあり、この場合には、コンデンサ4,5は逆転状態から正転状態にされる。したがって、コンデンサ4,5の調整は、常にマッチングポイントに向かって行われることになる。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、電源とマッチングボックスとの間に設けられた入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相を検出する検出器とを備え、検出器により検出されたインピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量を調整し、検出器により検出された位相に応じてチューニング可変コンデンサの容量を調整するように構成した高周波装置において、マッチングボックスの出力波形のピークツーピーク値(Vpp)の変化を検出し、各コンデンサの容量の調節の際、Vppの変化に応じて容量の増加,減少の方向を制御するように構成した高周波装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23F 4/00
, H03H 7/40
H05H 1/46 R
, C23C 14/40
, C23F 4/00 A
, H03H 7/40
