特許
J-GLOBAL ID:200903062334081940
プラズマで補助する気体反応器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (9件):
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-520928
公開番号(公開出願番号):特表2004-506849
出願日: 2001年07月13日
公開日(公表日): 2004年03月04日
要約:
【課題】気体状媒体をプラズマで補助して処理するための円筒状の形態にある改良された形態の反応器を提供すること。【解決手段】二つの同軸の電極間に含まれる気体透過性誘電材料から成る円筒状の反応器床を含む、プラズマで補助して気体媒体を処理する反応器であって、内部電極が放射方向に突出する羽根又はディスクを有し、これらの羽根又はディスクが反応器床の材料の誘電率より大きい誘電率を有する誘電材料で製造する、反応器。【選択図】図3
請求項(抜粋):
気体状媒体をプラズマで補助して処理する反応器であって、該反応器が二つの同軸の円筒状電極の間に含まれた気体透過性誘電材料から成る反応器床を含み、このことによって、反応器床内の隙間において気体状媒体中でプラズマが生成するのに十分な電位を反応器床を横切って供給することができ、ここで、床内の材料組成及びその配分を、放射状の位置の減少に伴って有効誘電率を増加させる配置を少なくとも床の一部に対して行い、このことによって床の該部分における放射方向の電場の変化を減少させる、反応器。
IPC (7件):
F01N3/08
, B01D53/32
, B01D53/56
, B01D53/62
, B01D53/72
, B01D53/74
, B01J19/08
FI (6件):
F01N3/08 C
, B01D53/32
, B01J19/08 E
, B01D53/34 129C
, B01D53/34 120D
, B01D53/34 135A
Fターム (29件):
3G091AB14
, 3G091BA14
, 3G091BA15
, 4D002AA08
, 4D002AA12
, 4D002AA40
, 4D002AC10
, 4D002BA05
, 4D002BA06
, 4D002BA07
, 4D002BA14
, 4D002CA07
, 4D002DA70
, 4G075AA03
, 4G075AA27
, 4G075AA37
, 4G075BA06
, 4G075CA47
, 4G075CA54
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EB21
, 4G075EC21
, 4G075EE02
, 4G075EE15
, 4G075FA01
, 4G075FA08
, 4G075FC01
, 4G075FC15
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